Ayn? yo?unlukta, tungsten battaniye kur?un battaniye daha benzer kal?nl??a sahiptir. Ve son derece esnek ve kal?planm?? veya herhangi bir ?ekil halinde olu?turulabilmektedir. Genellikle rekabet?i alternatifleri kur?un fiyatl?. Bu mühendis ve kilitlenebilir "Yüksek Rad" uygulamalar da dahil olmak üzere ?zel profiller, d??eme ve kurdele, imal edecek.
Burada, yukar?da tarif edilen y?ntem, bir yap??ma tabakas? Ti / TiN filmlerin lamine tabakas? ve tungsten koruyucu paket yap??ma tabakas? üzerinde meydana getirildi?i zaman Ti ve WF.sub.6 do?rudan reaksiyonu ?nleme etkisi vard?r. Ti ve WF.sub.6 do?rudan bir reaksiyon hacmi geni?lemesini sergilerler ve bir tabakan?n soyulmas?-off nedeni olacak bir kat? substrat olu?turacakt?r.
tungsten koruyucu paket olu?turmak i?in bir yap??ma tabakas? püskürtme ile olu?turuldu?unda, alt-tabaka, genellikle, bir tutucu kanca veya kullanan bir montaj ?er?evesi üzerine monte edilmi?tir. Bu kancalar porsiyonlar olarak, hemen hemen hi? bir film püskürtülmesi suretiyle kanca olu?mu?sa ?ünkü katmanlar aras? yal?t?m tabakas? maruz bir SiO.sub.2 filmi olan. tungsten koruyucu battaniye maruz SiO.sub.2 üzerinde büyür, tungsten koruyucu battaniye kolayca ?ünkü zay?f yap??ma, anti par?ac?klar?n s?yr?l?r üretilir.
maruz kalan SiO.sub.2 filmi üzerinde tungsten ?rtüsünün bir büyümesini ?nlemek i?in, alt-tabaka yakla??k maruz SiO.sub.2 filmi SiO.sub.2 maruz filmin ula?mas?n? Reaksiyon gaz? da ?nlenmesi i?in bir halka ile kapl?d?r.
SiH.sub.4 ya SiH.sub.2 Cl.sub.2 bir gaz silikon ince bir film tabakas? bunun olu?turulmas? i?in bir alt-tabaka yüzeyi üzerinde akmas?na izin verildi?inde, tungsten paket, yukar?da tarif edilen olu?turma ?nceki teknik metodunda , reaksiyon gaz?n?n nüfuz etmesini engelleyen bir halka ile kapal? k?sm?nda temin edilmez. Bu nedenle, SiO.sub.2 bir tabakas? alt-tabakan?n bir ?evresi üzerinde maruz kalmaktad?r.
WF.sub.6 bir gaz ak??? sa?layarak Wsi filmin olu?turulmas? sonraki i?lemde, WF.sub.6 SiO.sub.2 filmin alt-tabakan?n bir ?evresi üzerinde a???a ??kan bir b?lümü i?ine nüfuz edebilir. Bu durumda, tungsten ?rtüsü SiO.sub.2 film do?rudan büyür ve partiküllerin üretimi ile sonu?lan?r.
E?er tungsten koruma battaniye herhangi bir ilgi varsa, e-posta yoluyla bizimle temas kurmaktan ?ekinmeyin: sales@chinatungsten.com sales@xiamentungsten.com veya telefonla:86 592 5129696.